声发射传感器的作用是接收材料或结构内部的声发射信号。压力容器、储罐、热交换器、管道、反应器、航空推进器、核电站的设备等许多类型的结构都可以用声发射进行监测。在所有的应用中，声发射传感器是连接结构与声发射仪之间的桥梁，所以，声发射传感器的性能对测试是非常重要的。下面就声发射传感器的原理、分类、结构以及校准等方面进行综述，希望对大家认识了解和选择声发射传感器有一定的帮助。

1、声发射传感器的原理
传感器将声发源在被探测物体表面产生的机械振动转换为电信号, 它的输出电压V(t,x)是表面位移波U(x,t)和它的响应函数T(t)的卷积: V(t,x)=U(t,x)T(t)
理想的传感器应该能同时测量样品表面位移(或速度)的纵向和横向分量,在整个频谱范围内(0～100MHz或更大)能将机械振动线性地转变为电信号, 并具有足够的灵敏度以探测很小的位移(通常要求≤10-14m)。
目前人们还无法制造上述这种理想的传感器，现在应用的传感器大部分由压电元件组成，压电元件通常采用锆钛酸铅、钛酸铅、钛酸钡等多晶体和铌酸锂、碘酸锂等单晶体，其中，锆钛酸铅（PZT－5）接收灵敏度高，是声发射传感器常用压电材料。铌酸锂晶体居里点高达1200℃，常用作高温传感器。　　
传感器的特性包括：频响宽度、谐振频率、幅度灵敏度，这些特性受许多因素的影响，包括：①晶片的形状、尺寸及其弹性和压电常数；②晶片的阻尼块及壳体中安装方式；③传感器的耦合、安装及试件的声学特性。
压电晶片的谐振频率（f）与其厚度（t）的乘积为常数，约等于0.5倍波速（V），即f•t＝0.5V，可见，晶片的谐振频率与其厚度成反比。

2、声发射传感器的分类
人们根据不同的检测目的和环境制造了不同性能和不同结构的传感器。
(1) 高灵敏度谐振式传感器: 谐振式高灵敏度传感器是声发射检测中使用最普遍的一种, 这种传感器具有很高的灵敏度, 可探测的最小位移可达到10-14m, 但它们的响应频率范围很窄, 且共振频率一般都位于50至1000KHz之间。
　　(2) 宽频带传感器: 传感器的幅频特性与其压电元件的厚度有关, 宽频带传感器一般是由多个不同厚度的压电元件组成, 这种传感器的操作频率一般为几十KHz到几MHz, 适合探测声发射源频率很丰富的材料, 但其缺点是灵敏度比谐振式的要低。但其频响曲线非常平坦，很适合做波形分析用。典型产品有日本富士的AE1045S宽带传感器。
　　(3) 切变波传感器: 目前声发射检测所普遍使用的基本上都是纵波传感器, 它们只能接收厚度方向的振动分量。切变波传感器是专门用来探测材料表面水平方向的切变振动分量的传感器, 而且具有一定的方向性。
　　(4) 二分量传感器: 在材料表面一点上能同时获得一个纵向振动分量和一个切变振动分量, 或是两个相互垂直的切变振动分量的传感器。
　　(5) 三分量传感器: 在材料表面一点上能同时获得一个纵向振动和两个相互垂直的切变振动的传感器。
　　(6) 差动传感器: 由两个正负极差接的压电元件组成, 输出相应变化的差动信号。其抗共模干扰能力强，适合噪声来源复杂的现场使用。
　　(7) 电容传感器：这是一种直流偏置的静电式传感器，用它可以测量试件表面的垂直位移，所以也是一种位移传感器。由于它在很宽的频率范围内具有平坦的响应特性，因此可用于声发射信号的频谱分析和传感器标定。缺点是灵敏度不够高。
　　(8) 锥形传感器: 这种传感器采用NBS型的锥形探头, 灵敏度很高, 频谱相应也很宽。
　　(9) 低频拟制传感器：它具有低频拟制能力，但对于表面波声发射信号有接近一般传感器的灵敏度。
　　(10) 光学传感器：它应用Michelson干涉仪的原理, 以相干长度十分大的激光的干涉来测量弹性波引起样品表面的垂直位移，它不与样品直接接触，因此具有很宽的通频带，并且可以绝对标定，但由于受波长所限，且本底噪音不易消除，其探测灵敏度不高。
　　(11) 微型传感器: 微型传感器具有小巧的外形结构，适合探测小型试件的声发射。但由于压电元件小，灵敏度较低。
　　(12) 高温传感器：这种传感器适合在高温环境下长时间工作，要求压电元件具有高温稳定性能，它的Curie温度远高于使用温度。目前商品高温传感器的使用温度范围为-200～+540℃。
　　(13) 磁吸附传感器: 它可以直接吸附在铁磁材料的检测对象上，达到充分接触耦合的目的。由于切变波传感器不能采用油耦合，所以它常采用磁吸附传感器的结构。
　　(14) 前放内置式传感器: 这种传感器将声发射信号的前置放大器与压电元件一起置入探头的不锈钢外壳中, 因此具有最好的抗电磁干扰能力,而且传感器的灵敏度不受影响。这种传感器在现场检测中使用十分方便。
　　(15) 潜水传感器: 这种传感器仍采用前放内置式结构，但经过密封防水处理，可以在水中对构件进行声发射检测。
　　(16) 可转动传感器: 这种传感器采用干耦合旋转式结构, 在生产过程中,在传感器位置固定的情况下对移动的工件进行连续监测。
　　(17) 单向传感器: 这种传感器只对一个方向传播的声发射波敏感, 而对与之垂直的另一个方向传播的声发射信号拟制。因此适合桥梁的声发射检验并排除道路上噪音的干扰。
　　(18) 空气耦合传感器: 这种传感器以空气为耦合剂, 中心频率一般为20KHz, 最适合在非接触情况下进行在用压力容器的泄漏监测。

3、压电型声发射传感器的结构
常用的压电型谐振传感器的结构形式见下图，a为单端输出式，b为差动输出式。

a）单端式 b）差动式
压电元件多采用锆钛酸铅陶瓷晶片（PZT一5），起着声电转换作用。两表面镀上5～19um厚的银膜，起着电极作用。陶瓷保护膜，起着保护晶片及传感器与被检体之间的电绝缘作用。金属外壳对电磁干扰起着屏蔽作用。导电胶，起着固定晶片与导电的作用。在差动式传感器中，正负极差接而成的两个晶片，可输出差动信号，起着抑制共模电噪声的作用。传感器材料选择，还应考虑诸如温度、腐蚀、核辐射、压力等检测环境因素。

4、 声发射传感器的校准
声发射传感器的校准分为绝对灵敏度校准和相对灵敏度校准。
绝对灵敏度校准，是声发射定性定量分析、二级标准传感器选择所不可缺少的环节，有表面波脉冲法和互易法两种。绝对灵敏度（M），一般用在一定频率下，传感器的输出电压（V）与表面垂直位移速度（m/s）之比来表示，其单位为：V/（m•s-1）。
（1）表面波脉冲法 在半无限体钢制试块表面上，以铅笔芯或玻璃细管的断裂作为阶跃力点源，如测得标准电容位移传感器和待效传感器对表面波脉冲的响应，则即可按定义算出绝对灵敏度。
该校准方法已纳入ASTM标准[6]，在100kHz～1MHz频率内，校准的不确定度可达±5%（90%置信度）。国内也已建立起此类校准系统，传感器灵敏度校准曲线一例见下图。

表面波脉冲法，操作不便，但与检测实际相近，除了一般传感器校准外，还可用于二级标准传感器的校准。
（2）互易法 根据传感器的机电变换的可逆性原理，在半无限体试块表面上，只要比较一组同类传感器之间的电气特性，即可测出绝对灵敏度。此法不需直接测量表面的法向位移，因而操作较简便，但是，每次校准需提供三个同类待校传感器。该方法已纳入日本无损检测协会标准，在50kHz～1MHz频率内，可提供表面波和纵波灵敏度。
声发射传感器相对灵敏度校准
在批量检测中，需要一种简便而经济的相对校准方法，以比较传感器灵敏度的变化。此类方法只提供传感器对模拟源的相对幅度或频率响应。
常用的对接法，一般由小型试块、以扫频仪为激励源的超声传感器（谐振频率大于2.5MHz）及电压表构成，可用来比较传感器的频率响应。
作为一简便的方法，可由小型试块、电脉冲发生器、声发射仪等构成。用声发射仪记录传感器对模拟信号的响应幅度，也可与已知灵敏度的标准传感器作比较，其原理如下图所示。

用户可根据需求来选择合适的声发射传感器，一般工程现场检测可选用谐振式传感器，可获得较高的灵敏度，购买成本上也比较经济。实验室研究一般选用宽带传感器，因宽带传感器频响曲线平坦，对不同频率段的信号可获得一致的响应。对于特殊环境下的使用可以选择防水型、低温、高温等传感器。